UWR-10N ■ 실록산을 생성하지 않는 빔형 로드셀 ■ 정격용량 : 10N ■ Overload: 300%R.O. ■ 비직선성: 0.03%R.O. ■ 웨이퍼 이송로봇의 파지력 관리, 웨이퍼 연마 또는 와이어 본딩 시 가압력 관리, 칩 마운터의 하중 제어 등에 활용
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